부스타펌프
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| Model | FRU 180 | FRU 360 | FRU 720 | FRU 1440 | FRU 2880 | |
| Displacement speed(㎥/h) | 50㎐ | 150 | 300 | 600 | 1200 | 2400 |
| 60㎐ | 180 | 360 | 720 | 1440 | 2880 | |
| Ultimate Pressure with 2 stage backing pump(Torr) | 5 × 10-5 | 5 × 10-5 | 5 × 10-5 | 5 × 10-5 | 5 × 10-5 | |
| Inlet pressure (Max. continuous) Torr | 760 | 760 | 760 | 760 | 760 | |
| Inlet flange(ISO) | 63 | 63 | 100 | 160 | 160 | |
| Outlet flange(ISO) | 63 | 63 | 100 | 100 | 160 | |
| Motor Power(Kw) | 0.75 | 1.1 | 2.2 | 4.0 | 7.5 | |
| Moter Power(Volt) | 50㎐ | 220/380~420 | 220/380~420 | 220/380~420 | 220/380~420 | 220/380~420 |
| 60㎐ | 220/380/440 | 220/380/440 | 220/380/440 | 220/380/440 | 220/380/440 | |
| Rotational speed of pump(R.P.M) | 50㎐ | 3000 | 3000 | 3000 | 3000 | 3000 |
| 60㎐ | 3600 | 3600 | 3600 | 3600 | 3600 | |
| Oil Filling(ℓ) | 0.25 | 0.25 | 0.25 | 0.25 | 0.25 | |
| Weight(kg) | 74 | 98 | 173 | 275 | 477 | |
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